硅衬底 (Si)

硅基板用于制造分立半导体器件（二极管、晶体管）、包含数千个半导体和无源元件的超大型集成电路以及微机电系统。

尺寸范围包括 380、420 和 460 微米 厚的基底，直径为 100 毫米。