18 сентября нашу площадку посетил Заместитель министра промышленности РФ Василий Шпак. Он оценил, как идет разработка двух мощных эксимерных лазеров по литографии с длинами волн 193 и 248 нм в рамках проекта «Прогресс 130». Пока что только две компании в мире освоили такие технологии. Мы уже произвели 2 образца: в следующем году они будут отправлены на испытания, а в 2026-м — выйдут в серию.
Серийное производство мощных эксимерных лазеров поможет развитию отечественной микроэлектроники. Этот вопрос на личном контроле держит Министерство промышленности и торговли РФ.
